蔡司ZEISS XENOS三坐標

機械設計

XENOS采用（yòng）了機械設計理念。與標準橋式測量機不同：Y導軌分（fèn）布於側壁頂部，分離式移動行程軸僅橫梁於Y軸方向移動，更（gèng）小及恒定的移動重量——與移動式平台相比堪稱真正（zhèng）的優勢（shì）。更低及恒定的（de）移動重量造就了加速及高速的統一。

所有軸均（jun1）采（cǎi）用線性驅動

XENOS的所（suǒ）有（yǒu）軸均采（cǎi）用線性（xìng）驅（qū）動。其優點：高（gāo）速、加速極快（kuài）、定位（wèi）精（jīng）度高（gāo）、驅動無剪切力影響。結合超高分辨率光柵尺技（jì）術，XENOS的線性驅（qū）動可獲得高度穩定性及低於100納米的極高定位精度。例如，測針（zhēn）偏移（yí）量越恒定，即（jí）可獲得測量精（jīng）度。於測量曲麵（miàn）時更顯見：測針的移動路徑與預定值越吻合（hé），即（jí）可實現的精準性。

虛擬中央驅（qū）動

XENOS於Y軸向（xiàng）配備雙線性驅動（dòng）係統（tǒng），得益於蔡司的中央驅動技術可實現優異的同步控（kòng）製。該技術可據X軸位置分布驅動力（lì）。作為控製（zhì）係統及算法之結合，這是在整個測量範圍內獲得的測量精（jīng）度及運動穩定性的關鍵（jiàn）因素。

碳化矽陶瓷

XENOS在與精度密切相關（guān）的機器部件上采用新的碳化矽陶瓷材料。迄今為止，該材料從（cóng）未在（zài）類似產品或精度的測量機器上得到使（shǐ）用。與常規陶（táo）瓷（cí）相比，碳化矽陶瓷的熱膨（péng）脹性（xìng）降低約（yuē）50%，而剛性（xìng）則可（kě）提升30%，同時減重20%。與鋼材（cái）相比，碳化矽陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。

加強型VAST gold

XENOS采用蔡（cài）司VAST gold測量探頭。在研發過程中，蔡（cài）司在測量精度和測量重（chóng）複度方麵對該探頭進行了優化（huà）。XENOS也采用了新型剛性連接。VAST gold探頭可與長度可達800毫米的測（cè）針以及重量高達500克的測針配套使用，包括（kuò）非對稱型測針。

優化的氣浮軸承（chéng）

強化處理（lǐ）氣浮軸（zhóu）承具有優異（yì）的穩定性及測量精度。

改進的電子設計

通過電子設計，移動線纜對精度影響顯著降低。計算機輔助精度修正（CAA）法和特殊附加CAA修正技術在獲得高測量精度的過程中扮（bàn）演著日趨重要的作用（yòng）。

XENOS

應用案例

XENOS可在各類要求高測量精度的領域使用——從科（kē）研機構的測量實驗室、航空和航（háng）天工（gōng）業直至光學工業。這一測（cè）量機（jī）測量範圍近1立方米